| 基于静电力的可溯源微悬臂梁刚度标定方法 |
| 韩亚倩;赵美蓉;刘明;孙培元;宋乐; |
| 关键词：微纳力值;微悬臂梁;刚度标定;不确定度 |
| 主要内容：许多研究机构都建立了微纳力值测量系统,并达到了非常高的测量精度。但是,对微纳力值的传递却很少研究。采用无源悬臂梁作为微纳力值传递标准,提出基于静电力原理的"类参考梁法"悬臂梁刚度测量方法。该方法可准确且便捷地测量悬臂梁刚度,并将其溯源至长度 |
| 《仪器仪表学报》 2017,38(06):1466-1473 |
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