产业集群决策
 
微电机械系统（MEMS）的发展
 
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关键词：微电机械系统 全光开关 MEMS 光学网络 静电致动器
 
主要内容：目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术，以便能产生下一代光学网络标准组件，即全光开关。在该领域，微电子机械系统具有很大的发展潜力，美国的一些公司已经开始了一些项目的研究，
 
《光机电信息》  2001(4).-43-44
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