产业集群决策
 
PCVD法工模具表面强化设备的研制
 
陶冶
关键词：PCVD设备 工具 模具 表面强化 等离子体涂层
 
主要内容：介绍了ＰＣＶＤ表面强化设备的发展概况及一种新研制一切的工业生产型ＰＣＶＤ工模具表面强化设备。用该设备可以制备ＴｉＮ系薄膜和ＴｉＳｉＮ，ＴｉＡｌＮ等元系薄膜；
 
《航空工艺技术》  1997(4).-26-27
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