| 住友重机推出钙钛矿光伏用反应等离子体技术 |
| 刘漪 编译 发布日期：2025年8月22日 |
| 新能源 |
| 日本住友重机械工业（SHI）研发出新型反应等离子体沉积（RPD）技术，用于制备钙钛矿太阳能电池的超薄氧化锡（SnO2）电子传输层（ETL），该技术可实现低温量产且对衬底损伤极小，突破钙钛矿规模化应用关键瓶颈。电子传输层是钙钛矿电池核心组件，需高效传输钙钛矿层产生的电子至电极，且需避免损伤耐高温性差的钙钛矿层。传统制备方法或依赖高能粒子、高温环境，或存在材料成本高、量产难、使用易燃易爆/有毒前驱体等问题。住友重机的RPD 技术属于物理气相沉积（PVD），可制备具备绝缘特性的氧化锡薄膜，为全球首次通过PVD 实现ETL 制备。其优势显著：支持低温、快速、大面积沉积，使用无害气体，能与氧化铟锡（ITO）等透明导电膜（TCF）沉积连续集成；沉积速度较现有方法快200 倍以上，ETL 制造成本可降至传统工艺的0.5%以下。 |
| 《全球创新型企业动态监测快报》2025年05期 |
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