三菱化学扩大半导体用合成二氧化硅粉产能
 
刘少芳  编译  发布日期:2024年12月19日

新材料
 
  三菱化学株式会社决定在其九州福冈工厂(福冈县北九州市)扩大“三菱合成二氧化硅”的产能,这是一种用于半导体制造工艺的合成二氧化硅粉末。计划于2028年9月正式投入运营。 该产品具有超高纯度,主要用作半导体硅生产用石英坩埚的原料,以及半导体制造设备中的高纯度石英部件原材料。在半导体硅制造过程中,石英坩埚的表面必须保持极高纯度,以防止杂质混入导致晶圆质量显著下降。凭借多年积累的制造技术,该产品实现了全球最高水平的砂型二氧化硅纯度,在此应用中具有极强的竞争力。此次扩大产能的决定是为了满足半导体市场持续增长的需求。
 
《全球创新型企业动态监测快报》2025年01期
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