| 一种用于硅片加工的反应炉体 |
| CN202322911136.5 2023-10-30 实用新型 |
| 2024-7-2 |
| 本实用新型提供了一种用于硅片加工的反应炉体，该炉体包括碳化硅制成的一体式双层炉管、第一加热组件、第二加热组件以及安装组件，一体式双层炉管中内炉管的开口朝上，第一加热组件可拆卸的设置于内炉管中，一体式双层炉管中外炉管的一端与内炉管的开口端一体成型，第二加热组件设置于外炉管的外壁外侧，安装组件包括第一安装组件、第二安装组件以及第三安装组件；第一安装组件罩设于一体式双层炉管的顶部，第二安装组件设置于第二加热组件的外侧，第三安装组件设置于一体式双层炉管的底部被用于固定和密封一体式双层炉管。本实用新型提供的用于硅片加工的反应炉体提升了硅片反应设备的整体实用性，简化了双层炉管的炉体结构。 |
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