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在单晶硅锭制造过程中使用石英颗粒阵列

KR1020247019043 2022-10-21 发明申请

2024-7-1

公开了用于生产单晶硅锭的方法，其中在锭生长之前将石英颗粒阵列添加到坩埚组件中。阵列可以如在连续直拉(CCz)工艺中那样设置在坩埚组件的外熔体区中。所述阵列可以由通过连接构件互连的石英颗粒制成。