| 一种一体化的多通道可步进式电极支架及其制作方法 |
| WOCN22137517 2022-12-8 发明申请 |
| 2023-6-22 |
| 一种一体化的多通道可步进式电极支架及其制作方法。电极支架包括第一连接板(1)、升降机构和电极阵列,第一连接板(1)间隔连接有第二连接板(2);升降机构设置于第一连接板(1)与第二连接板(2)之间;电极阵列穿过第一连接板(1)和第二连接板(2)上开设的硅管通孔(4, 7);电极阵列与升降机构相连,由升降机构驱动电极阵列沿其轴向运动。该电极支架用一体化两层板的结构代替了现有技术中的三层板结构,不仅简化了结构模型,减轻了重量,还使结构的精确化程度和一体化程度都有了提升。 |