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石英颗粒阵列于单晶矽锭生产过程中之用途
TW111139918 2022-10-20 发明申请
2023-6-1
本发明系关于用于生产单晶矽锭之方法其中在锭生长前将一石英颗粒阵列添加至该坩埚总成中。如在一连续丘克拉斯基()程序中该阵列可经安置于该坩埚总成之外部熔融区域中。该阵列可由借由链接部件互连之石英颗粒制成。; ()
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