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单晶硅锭生产过程中石英颗粒阵列的使用

US17964303 2022-10-12 发明申请

2023-5-11

公开了用于生产单晶硅锭的方法，其中在锭生长之前将石英颗粒阵列添加到坩埚组件中。阵列可如在连续直拉(CCz)工艺中那样设置在坩埚组件的外熔化区中。阵列可以由通过连接构件互连的石英颗粒制成。