| 一种一体化的多通道可步进式电极支架及其制作方法 |
| CN202111554554.2 2021-12-17 发明申请 |
| 2022-3-25 |
| 本发明公开了一种一体化的多通道可步进式电极支架及其制作方法，包括第一连接板、升降机构和电极阵列，第一连接板间隔连接有第二连接板；升降机构设置于第一连接板与第二连接板之间；电极阵列穿过第一连接板和第二连接板上开设的硅管通孔；电极阵列与升降机构相连，由升降机构驱动电极阵列沿其轴向运动。本发明在制作的过程中不会出现结构不稳定不平行的状态，成本低廉。用一体化两层板的结构代替了现有技术中的三层板结构，不仅简化了结构模型，减轻了重量，还使结构的精确程度和一体化程度都有了很大的提升。本发明为一体化程度很高的两层的电极支架机构，整个结构是一个整体，螺丝可以直接进入第一连接板内被卡住，使得表面更加平整。 |
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