水凝胶装置的晶片级蛋白质图案化
 
US17972306  2022-10-24  发明申请

2023-5-25
 
  提供了用于进行蛋白质图案化的方法。 特别地,该方法包括使用光刻法在晶片上生成光致抗蚀剂图案; 将所述光刻胶图案化晶圆切割成晶圆芯片; 以及对所述光刻胶图形化的晶圆芯片进行剥离蛋白图形化。 这种制造技术按比例放大剥离制造工作流程的光刻阶段,以产生大量贮存稳定的光致抗蚀剂图案化玻璃基板,其可用于将蛋白质图案结合到水凝胶的表面上。
 
仿站