| 形成所述引线的线和扫描探针显微镜样品的方法 |
| JP2007031514 2007-2-13 发明授权 |
| 2012-5-30 |
| 要解决的问题 : 以提供一个输出布线的形成方法,其效果所形成的引出布线(和连接到一个衬底同时一测试件和所述基板之间,同时保持准直,和一种制造方法。该测试片的用于扫描型探针显微镜,其中该形成方法是应用于。 溶液 : 一导电剂层12,它包括一个光学反应性树脂或一种热活性树脂和为其一种导电物质是混合形成所述测试件11和一透明基板13之间,然后,光照射是从所述透明基板13侧抵靠所述导电剂层12以硬化剂和固定所述测试件11以所述透明基板13,和此后,一未固化的部分被去除以形成该引出布线17。该引出布线(17,可以通过照射光,以仅形成必要的布线代替其中一个不必要的部分可以除去形成该引出布线17和后透明树脂可填充在一个过程之后,从而允许该确认一种测量的位置容易地通过照射光从一后表面在测量。 版权 : (C)2008,inpit |