纳米-分辨率X-射线显微镜
 
RU2010153145  2010-12-27  发明授权

2012-5-27
 
  字段 : 物理学。物质 : 纳米-分辨率X-射线管组件上的显微镜具有一个与一电子透镜系统的电子枪,偏转系统,一种从上一薄金属层制成的靶X-射线透明基底,一坐标-敏感的X-射线检测器,其中所述物镜还包括一隔离电极在其正绘制电位被施加,和所述之间的空间中的所述最后两个透镜组成的存在是一种二次电子探测器的一偏转栅极,一个闪烁体和一光电倍增管。效果 : 所述的高分辨率X-射线显微镜,效率高,和进一步分析对象的可能性在二次和反射的电子与高分辨率。1显示
 
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