用于原子力显微镜悬臂,原子力显微镜,原子间力和测量的方法
 
JP2010242994  2010-10-29  发明申请

2012-5-17
 
  要解决的问题 : 以提供一悬臂由一动态驱动的模式; 以提供一种原子力显微镜; 和,以提高测量精度测量所述的一种方法中的一个原子间力的原子间力。溶液 : 一悬臂2用于一种原子力显微镜1包括 : 一振动部形成一垂直的弹簧2a和一旋转弹簧2b; 和一探针2C所述垂直弹簧2a被自由地通过一个第一的机械振动模式振动,和所述通过一个第二旋转弹簧2b是自由振动的机械振动模式。第一的机械振动模式和第二的机械振动模式被机械振动模式,其中相互的振动被独立的分别,和所述各自的谐振频率近似或符合每个其它。所述探针2C是安装在这样的一个根据所述的振动被移动的位置作为所述垂直弹簧2a和作为允许所述振动部与所述的振动激发所述旋转弹簧2b通过一个变化在所述原子间力基于所述位移。版权 : (C)2012,inpit
 
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