用于快速制备透射电子显微镜用多个样品的方法和设备
 
US13050561  2011-3-17  发明申请

2012-5-17
 
  一种原位提离快速制备TEM样品方法和设备。 本发明使用粘合剂和/或弹簧加载的锁定夹,以便将多个准备好TEM的样品膜放置在单个TEM支撑栅格上,并且消除了使用标准纤维辅助金属沉积作为粘合方案。 因此,本发明避免了金属沉积步骤的溅射问题,并且通过允许在不打开FIB/SEM真空室的情况下生产多个样品来提高整体生产率。
 
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