| 带电粒子显微镜 |
| US13386717 2010-7-13 发明申请 |
| 2012-5-17 |
| 一种带电粒子束装置，其特征在于，具有用于对准器线圈(29)的控制值，该控制值由线圈电流和电极施加电压确定，所述电极施加电压处于用于物镜(30，31)的控制值，所述物镜是电磁场叠加透镜； 图像移位线圈(27，28)的控制值； 以及带电粒子束的加速电压。 由此，能够避免在带电区域和非带电区域之间的边界处显示的图像上发生的图像干扰，并且提供一种带电粒子束装置，该带电粒子束装置获得清晰的图像而没有亮度的不均匀性。 |
微信公众号