| 用于确定方法可变形的弹簧常数扫描探针显微镜的元件，和扫描探针显微镜校准装置，设置用于确定一探针元件的弹簧常数。 |
| NL2005687 2010-11-12 发明授权 |
| 2012-5-15 |
| 用于确定方法用于可变形的弹簧的弹簧常数k探头元件(102)的扫描探针显微镜SPM的(100)。探针(102)具有由尖端区域的外表面区域(112)上的第一探针侧(108)和无尖端区(113)。探针(102)还具有探针电极(114)和扫描探针针尖(104)在尖端区域(112)。该方法包括 : 提供致动电极(116)在空间上分离从探针(102); 调整探针电极之间的电位差V施加(114)和激励电极(116)，偏转探针(102)为接触状态激励电极(116)仅接触部与无尖端的探针区(113); 测量表探针电极之间的电位差的VPI(114)，激励电极(116)，和导出弹簧的弹簧常数k，基于外延的电位差VPI。此外，SPM(100)和标定装置，该方法功能)被设置。 |
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