| 差分干涉显微镜 |
| JP2010235464 2010-10-20 发明申请 |
| 2012-5-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一个差分干涉显微镜能够小型化的装置的配置。溶液 : 一差分干涉显微镜1包括 : 一光源2; 和一个横向偏差可变装置20能够变化的一个横向的第一偏振光和第二之间的偏差极化光。所述横向偏差可变装置包括 : 一空间光调制单元21能够调制的光的振幅从所述光发射源; 和一保持单元，用于保持所述空间光调制单元，与光入射表面倾斜于所述从所述光源发出的光。版权 : (C)2012，inpit |
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