产业专利数据
 
观察图像获取方法和扫描电子显微镜
 
JP2010232765  2010-10-15  发明申请
2012-5-10
 
  要解决的问题 : 以提供一观察图像的获取方法，其能够防止所发生的失真在一个观察期间，即使当一个样品台是移动图像与带电粒子束照射。溶液 : 根据本发明所观察的图像获取方法识别一帧之间的移位的扫描线，和执行位置校正，以对准所述移位的扫描线以外的部分在所观察的图像与一个所述移位的扫描线的位置。版权 : (C)2012，inpit
 
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