| 栅极,用于透射电子显微镜和制造方法,其 |
| KR1020100108341 2010-11-2 发明申请 |
| 2012-5-10 |
| 目的 : 一种栅极结构用于传输电子显微镜观察和的一制造方法,其被设置以防止遗漏一种通过使用一种石墨烯膜样品作为样品支架。结构 : 栅网(10)是编织作为一栅极形状的。一烯薄膜(20)定位在所述栅网。所述石墨膜支持一个样品。一种固定座(30)固定所述栅网和所述石墨膜的边缘。所述石墨膜包括至少一个之间的单层的石墨烯,双分层烯,和多层石墨烯。一种金属催化剂是一种硅晶片在其上形成一硅氧化物膜被形成。所述石墨膜是通过合成形成的石墨烯到所述金属催化剂与一种热化学气相沉积方法。所述石墨膜是从所述金属催化剂分离。所述石墨膜被传送到所述栅网,版权kipo2012 |