| 用于扫描电子显微镜观测中精确图形定位的方法 |
| CN201110250284.6 2011-8-29 发明申请 |
| 2012-5-9 |
| 本发明用于扫描电子显微镜观测中精确图形定位的方法解决了现有技术中观测具有很大的深宽比的结构时定位困难的问题，通过在晶圆的表面先涂上光刻胶，再使用特定的光罩刻蚀出具有固定宽度和间距的光刻胶线条，这些光刻胶线条作为扫描电子显微镜观测中，进行精确定位的定位标志。对于大宽深比的结构只需要通过计算晶圆表面的光刻胶线条的数量，就可以精确的知道观测点在所观测结构中所处的位置。 |
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