| 一种低温扫描近场光学显微镜的减振结构 |
| CN201110255982.5 2011-8-31 发明申请 |
| 2012-5-2 |
| 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的减振结构，属于近场光学仪器制造领域。在低温扫描近场光学显微镜的真空腔内设有一金属套筒，低温SNOM扫描头通过弹簧悬挂在金属套筒内的顶部，起到一次减振的作用。进一步设有磁阻尼减振装置，磁阻尼减振装置的“U”形铜框部分固定在扫描头底座下表面，相对应的磁铁固定在导热铜盘上。振动时，“U”铜框沿磁铁的一边作切割磁力线运动引起磁阻尼，起到二次减振的作用。本发明实现了低温扫描近场光学显微镜扫描头的减振。 |
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