| 扫描电子显微镜的检测方法 |
| CN201110386090.9 2011-11-28 发明申请 |
| 2012-5-2 |
| 本发明涉及一种扫描电子显微镜的检测方法，用于对其上具有多个芯片的晶圆进行缺陷检测，包括：导入缺陷晶圆的文件；将待测晶圆放置于扫描电子显微镜的承载台上；将待测晶圆上的某一芯片拐角设定为起始位置；对该待测晶圆进行位置校正；获得两种机型腔体中心位置的晶圆级别的偏差值；选择一待测芯片，利用晶圆级别的偏差值修正其芯片拐角在该缺陷扫描机台中得出的坐标，在放大图像的状态下使其芯片拐角移至显示器图像中心，获得两种机型腔体中心位置的芯片级别的偏差值；基于该晶圆级别的偏差值和该芯片级别的偏差值得到修正后的缺陷坐标；根据该修正后的缺陷坐标，使得待测缺陷位于该缺陷扫描机台的电子枪下方，从而快速精准地捕捉缺陷的形貌。 |
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