| 球面像差校正电子显微镜具有较少的色像差 |
| JP2010240130 2010-10-8 发明申请 |
| 2012-4-26 |
| 要解决的问题 : 以进一步提高建筑物的一个球面像差校正电子显微镜的分辨率电子束具有一个小的能量宽度。溶液 : 一个电子束棱镜3，一种色散之间的角放大透镜6和孔8被提供一种电子枪2和一观察样品11，该能量的电子束轨道发生由所述棱镜色散，色散角通过所述的色散角放大透镜是放大，和仅一个电子束穿过该孔提供下一个到所述的色散角放大透镜被使用，从而制备一种所述观测样品的显微图像。版权 : (C)2012，inpit |
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