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扫描探针显微镜

US13279763 2011-10-24 发明申请

2012-4-26

本发明公开了一种扫描探针显微镜，其具有改进的结构以精确地控制扫描探针和样品表面之间的距离。扫描探针显微镜包括具有支撑结构的样品台和扫描探针，在所述支撑结构上放置待测样品并产生振动，所述扫描探针不附接到所述样品台，而是独立地构成并扫描放置在所述样品台上并由所述样品台振动的所述样品的表面。