| 一种低温扫描近场光学显微镜 |
| CN201110255669.1 2011-8-31 发明申请 |
| 2012-4-25 |
| 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜，属于近场光学仪器制造领域。该显微镜设有真空腔室，该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室，扫描室内设有扫描头，扫描头的光路包括照明光纤、针尖光纤和扫描控制电子线路，照明光纤与真空腔室外部的激光器连接，针尖光纤与外部的光谱仪和光电倍增管连接，光谱仪和光电倍增管与扫描控制器连接，扫描控制电子线路与扫描控制器连接。本发明制备出高效的低温扫描近场光学显微镜。 |
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