| 一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统 |
| CN201110258114.2 2011-9-2 发明申请 |
| 2012-4-25 |
| 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的光学系统，属于近场光学仪器制造领域。该低温SNOM的光学系统包括激光器、照明光纤、粗逼近步进马达、光学聚焦镜、音叉、针尖光纤、光谱仪和光电倍增管，粗逼近马达的移动部件为石英三棱柱，石英三棱柱的中心设有通孔，照明光纤穿过该通孔，光学聚焦镜固定在石英三棱柱的下表面，光学聚焦镜包括上下两个光学共轴的透镜，针尖光纤与音叉固定在光学聚焦镜下方，针尖光纤穿过光学聚焦镜后从镜筒侧壁开孔引出，通过光纤导入到光谱仪和光电倍增管。本发明无须再外加开放光路，使得真空腔体里光路调节简化。 |
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