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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电镜驱动悬浮装置

US13272851 2011-10-13 发明申请

2012-4-19

一种微机电系统(MEMS)装置被配置为通过库仑相互作用由能量场直接致动以具有平移运动。 MEMS装置可以被解系，并且通过用能量场照射致动器来致动，从而在致动器上累积电荷。因此，MEMS器件可以利用来自累积电荷的库仑力来致动，以将可移动部分悬浮在导轨上。在一个示例中，能量场包括来自扫描电子显微镜(SEM)的电子束。