| 结构化的照明装置,结构化的照明的显微镜装置,和表面形状测量装置 |
| WOJP11005682 2011-10-11 发明申请 |
| 2012-4-19 |
| 本发明的地址加速图像捕获所述的问题,以其端部这种结构的照明装置包括 : 一个光学调制器(3)设置在所述的光从光源射出的光束,所述的光学调制器具有一声波传播路径设置在一个方向遍历所述发出的光磁通; 驱动装置(19)用于产生一静置该声波的传播路径中的声波通过施加一个驱动所述声波传播的信号用于振动所述介质路径到所述的光学调制器; 和照明光学系统(4-9)用于使所发射的光的相互不同的衍射部件之间的干扰磁通通过该声波的传播路径传输,和其上形成干涉条纹观察的一个对象。 |