| 使用光学显微镜和粒子束显微镜的序列对对象进行显微检查 |
| CN201080020680.3 2010-5-7 发明申请 |
| 2012-4-18 |
| 为了使用光学显微镜(10)和粒子束显微镜(12)的组合对对象(8)进行显微检查,使用了一种显微镜载物片系统(1),该系统包括:导电支架(2),其中至少一个窗口(3、17、18)配置于支架(2)中,以及其中支架(2)优选地具有用于光学显微镜(10)的标准玻璃显微镜载物片的尺度;显微镜载物片元件(7、19),其设计成承载用于显微检查的对象(8)并且设计成使得该元件可以放置在窗口(3、17、18)上方;以及紧固装置(5、6、22、25),其设计成将显微镜载物片元件(7、19)固定在窗口(3、17、18)上方。借助所述显微镜载物片系统(1),可以使用分开的显微镜来分析对象(8),而不必重定位对象。 |