| 闪烁检测单元，用于检测用于电子或反向衍射电子场离子显微镜 |
| CZ19310107 2010-10-7 发明申请 |
| 2012-4-18 |
| 闪烁检测单元，用于检测用于电子背散射的电子和离子显微镜具有柱纵轴，其中所述闪烁检测单元由本体和至少一个光信号处理系统包括光电探测器或光电探测器前面有附加的光学元件本体至少部分地由闪烁材料和至少部分地位于在柱的电子或离子显微镜由至少一个中空部。闪烁体的高度检测单元纵向轴线的方向中测得的大于一个和半该最大宽度量测得的宽度的方向垂直于纵向轴线的中空部的具有最大宽度。 |
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