扫描型显微镜
 
JP2010220191  2010-9-30  发明申请

2012-4-12
 
  要解决的问题 : 以准确地构造三-维图像。溶液 : 一运算处理电路34在Z方向测量一移动位置通过一个Z-轴驱动机构54每次当一个X-方向中的一个线的扫描完成,两维扫描的,和计算输出调整数据。通过使用根据该测量结果调整数据表,以存储所述输出调整数据在表保持部28。一输出调整电路30调整从光源21发出的激光光的强度基于一个通过进行D\/A转换获得输出调整信号用于所述输出调整数据。因此,一种具有良好的对比度可以获取二维图像,以准确地构造三-维图像。本发明可以应用于,例如,一扫描型显微镜进行三-维扫描的同时进行所述两个三维扫描在XY方向和Z方向中运动。版权 : (C)2012,inpit
 
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