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用于原子力显微镜的视频速率使能探针

US13276173 2011-10-18 发明申请

2012-4-12

一种用于原子力显微镜的探针的制造方法，所述探针具有氮化硅悬臂和集成单晶硅四面体尖端，所述尖端具有用于高速AFM成像的高谐振频率和低弹簧常数。