| 扫描电子显微镜 |
| WOJP11004749 2011-8-26 发明申请 |
| 2012-4-5 |
| 本发明提供一种扫描电子显微镜配备有一高速和高-精度要使用的象散测量装置当两个通过一个电子束产生象散镜体和从所述测量样品的周围产生的象散存在。这种扫描电子显微镜，其特征是在控制像散校正器(201)与高速和高-精度，以校正所述像散，通过使用两个一获取所述的像散的方法从所述两个要获取的三维图像的质量在改变所述象散校正器(201)的强度，和一从所测量的所述的像散方法改变在所述一种电子束发生的位置偏差时，该电子束是使用一倾斜的倾斜偏转器(202)。 |
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