| 显微镜例如共焦激光扫描显微镜,具有照明光源如激光光源照射样品与照明光,和扫描仪,其偏转样品的照明光向光学扫描一个侧 |
| DE102010037786 2010-9-27 发明申请 |
| 2012-3-29 |
| 一种显微镜(20),用于检查一样品(36)具有一个第一的光的照明源(22),作为激光光源产生的训练是和用于点亮所述样品(36)第一的照明光(24)。在这样的一种方式一种scaneinheit(28)中将第一的照明光(24) : 第一的照明光(24)扫描样品(36)从一第一侧的光,由此从所述样品(36)靠在设置到第一照明光(24)第一检测光(38)前进。一个主光束分路器(26)将第一的照明光(24)第一检测光(38)。一个检测屏幕(42,52,54)限制第一的横向扩展的检测光(38)。一种检测器装置(44,56)检测所述横向限制第一检测光(38)。一种第二的光的照明源(50)产生第二照明光(46)和所述样品上的光(36)从第第二侧,由此从所述样品(36)靠在设置以第一的照明光(24)第二检测光(51)进行,其中所述检测器装置(44,56)检测第二检测光(51)。 |