| 粒子束显微镜例如电子显微镜的操作方法，包括确定显微镜的结构的表面模型依赖于光光束从结构发出的，和表面模型的位置和取向 |
| DE102010046902 2010-9-29 发明申请 |
| 2012-3-29 |
| 用于该操作过程的一个粒子辐射显微镜，其具有一物镜透镜与一个对象区域，其中所述程序覆盖 : 检测从光的光线，其进行从一个结构，其中所述结构具有至少一个部分一个对象的一个表面的和\/或一个对象的拥有者的一个表面的一部分所述粒子辐射所述结构的显微镜，计算一个表面模型依赖于所述检测到的光的光线，确定一个位置和一个所述结构的表面模型的取向相对于所述对象区域，确定一个测量点相对于所述该结构的表面模型，和所述计算的表面上定位所述对象相关的所述结构的模型，该一定所述表面的位置和取向所述结构的模型和所述一定的测量点。 |
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