产业集群信息网

产业专利数据

用多频原子力显微镜测量材料性能

US13241689 2011-9-23 发明申请

2012-3-29

描述了用于在原子力显微镜和相关MEMS工作中提取振荡悬臂或其它振荡传感器的较高本征模式或谐波中携带的信息的装置和技术。还描述了使用具有多个激励信号的接触谐振来提取信息的类似装置和技术。