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原子力显微镜用串联压电驱动器和单驱动电路
US12890894 2010-9-27 发明申请
2012-3-29
一种用于原子力显微镜(AFM)的装置,包括 : 第一致动器,被配置为沿着轴线移动悬臂; 第二致动器,所述第二致动器被配置为沿着所述轴线移动所述悬臂; 放大器; 以及连接在放大器与第一致动器和第二致动器之间的交叉网络。 所述交叉网络适于在第一频率范围内向所述第一致动器提供第一驱动信号,并在第二频率范围内向所述第二致动器提供第二驱动信号。
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