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原子力显微镜误差校正方法及装置

US13190643 2011-7-26 发明申请

2012-3-29

在某些实施例中，探针扫描表面以产生第一扫描。所述第一扫描用于估计用于扫描所述表面以产生第二扫描的垂直偏移。在某些实施例中，AFM装置使用压电电压将探针接合到表面。探头扫描表面以产生第一扫描。第一扫描用于估计垂直偏移，使得探头使用压电电压来接合表面，以便在不同的垂直位置处进行第二扫描。