| 膜片单元，用于例如扫描电子显微镜，用于检查的样品，具有从侧的支撑单元突出到本体主体和设置在从孔的边缘的距离，其中体和\/或孔被提供与涂层 |
| DE102010041156 2010-9-21 发明申请 |
| 2012-3-22 |
| 本发明涉及一种屏幕单元(108)用于粒子束设备，在特定的电子束设备，此外本发明涉及粒子束设备与一个这样的屏幕单元(108)。在该屏幕单元(108)沉积支撑单元(123，125)。是以被设置，与那些污染(130，133)被绑定在这样的一种方式可使所述污染(130; 133)在一blendenffnung(108a)所述屏幕的单元(108)没有多个不与沉积到能够本身，通过涂层的装置，其可以位于所述屏幕上的单元(108)，它是可能的，以降低效果的倒数它使一沉积在所述blendenffnungkontominationen(108a的一个)。 |
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