| 扫描探针显微镜和表面形状测量使用相同的方法 |
| WOJP11061680 2011-5-20 发明申请 |
| 2012-3-22 |
| 它具有难以高精度地测定使用扫描探针显微镜样品的所述简档在该时间当由于扫描机构扫描被执行的所述非驱动方向中的波动，I。E。，垂直方向。本发明是提供具有，所述的后侧上的一个样品台，一个高精度位移计，用于测量所述非驱动方向中的波动，I。E。，垂直方向，在该时间时，所述样品级是被扫描在所述水平方向，和作为结果，高度准确的平坦度与精度评价样品的纳米-阶或更少是由可能通过校正样品表面形状使用一种探头获得的测量结果。 |
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