| 表面处理装置使用扫描探针显微镜 |
| WOJP11070385 2011-9-7 发明申请 |
| 2012-3-15 |
| 本发明是能够在实时观察的所述表面处理的方式与一个高的速度扫描探针显微镜(SPM)(原子力显微镜(AFM))，和与探针进行精细的表面处理即使使用一个悬臂具有一小弹簧常数。一种用于处理所述表面处理装置的一个样品(4)使用所述扫描探针显微镜(SPM，AFM)包括 : 阶段(6，7)上，其中所述样品被安装; 一悬臂(3)，其被提供到所述样品表面的表面(4); 位移测量装置(1，2)用于测量所述悬臂的所述位移; 一个表面的纹理图像获取装置，用于获取所述样品表面的纹理图像作为一个结果的所述测量的所述该悬臂通过所述位移的位移测量装置，同时之间的相对位置改变所述悬臂和所述样品; 和一种表面处理装置(5)用于处理该样品的表面与所述探针通过施加外部力从一个系统不同的所述样品从一悬臂的所述表面之间的系统和所述探头(8)，其所述悬臂被提供到所述的尖端。所述获取所述表面由所述表面纹理的纹理图像的图像获取装置和所述表面处理由所述表面处理装置被交替地重复。 |
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