| 原子力显微镜 |
| KR1020100030726 2010-4-5 发明申请 |
| 2011-10-12 |
| 目的 : 一种扫描探针显微镜是提供以提供高的随机扫描速度的测量多个测量位置。构成 : 进行级单元(50)移动扫描头单元以垂直方向从一个板当探头和一个悬臂所述扫描头中被交换的单元。一种微-移动台单元(70)连接所述导通级单元和所述扫描头单元。该微移动台单元接近所述板的所述探针与该表面当所述扫描所述扫描头的单元。该微移动台单元将该探针从所述板的表面，当所述扫描头单元移动到一水平方向上。版权kipo2012 |
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