| 原子力显微镜 |
| JP2010061587 2010-3-17 发明申请 |
| 2011-10-6 |
| 要解决的问题 : 以提供一种原子力显微镜，其可以测量一个测量对象的形状具有没有刚性，具有高精度。溶液 : 所述原子力显微镜100包括一悬臂130具有一探头142所述尖端处，一支撑110支撑悬臂130，和一个振动产生部分120给予振动到该悬臂130。该悬臂130具有一基端侧部分132定位在所述基端侧和一探针侧部136位于所述探头上侧。所述探头端侧部分136从该基端侧延伸部132通过被弯曲。所述基端侧部分132和探头侧部136具有自然频率，一个具有所述自然使所述的其它的频率的整数倍。版权 : (C)2012，inpit |
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