| 标准样品用于扫描探针显微镜和载体浓度测量方法。 |
| JP2009164519 2009-7-13 发明申请 |
| 2011-2-3 |
| 要解决的问题 : 以提供一标准样品用于一种扫描探针显微镜和一种载体浓度测量方法; 能够发现该载体之间的相关性的浓度和所述局部的电特性(包括该扩频的电阻特性; 电容和非线性介电常数)更准确地比通常。溶液 : 所述标准样品10是可互换地形成由叠层非活性层3由硅膜生长的外延不添加的杂质，和有源层2a～2f，由硅膜上生长的外延掺杂杂质的半导体衬底1由单晶的硅。每个有源层2a～2f具有一载流子浓度(杂质浓度)从所述其它不同的，分别和分离通过非激活层3，其载流子浓度是低和所述的电的电阻率高。因此，所述载体之间的相关性浓度和该局部电特性可以被发现精确，同时所述的漏一信号不同的活性层之间的电流被抑制。版权 : (C)2011，inpit |
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