离轴全息显微镜
 
JP2009164826  2009-7-13  发明申请

2011-2-3
 
  要解决的问题 : 提供一种离轴全息显微镜,促进小型化。溶液 : 该全息显微镜包括 : 一束分离器(13)用于分离从一光源提供的相干光(11)成参考光(lm)(LR)和测量光; 一物镜透镜(14)设置在所述测量光的光学路径,提供与一个光瞳设置在所述侧的所述分束器和适于进行反射照明用于一个对象(15)与测量的光进入所述所述光瞳的内部; 一个两维图像检测器(16),用于接收所述对象光(LO),它是由所述对象产生的散射光通过所述物镜和分束器; 和一反射和聚光光学系统(17)用于反射从所述光束发射的所述参考光分束器向所述分束器和冷凝所述参考光朝向所述边缘(cs)的一个区域对称的与所述光瞳关于所述分束器。版权 : (C)2011,inpit
 
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