| 一用于驱动一个扫描探针显微镜方法在升高的扫描频率 |
| EP10176633 2010-9-14 发明申请 |
| 2012-3-14 |
| 一种方法用于操作一个扫描探针显微镜(10)在升高的扫描频率是公开的，其包括一个表征级; 包括吹扫所述的垂直位移的多个激励频率的所述扫描元件(T); 测量所述值获得由所述读取参数在所述励磁频率; 和识别高原所述响应所述读取的频谱参数的区域，其中所述读取参数变化是有限在一预定的频率间隔一预定范围内，从而定义相应的快速扫描频率窗口(W)，其中所述显微镜组件是足够稳定以产生一个横向分辨率相当的一个慢速期间获得的测量。所述测量阶段包括驱动所述扫描元件(T)沿至少一个所述表面上的扫描轨迹的所述在一个频率选择的试样(S)一种快速扫描频率中包含的所述频率之间的窗口(W)。 |
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