| 扫描探针显微镜 |
| JP2010192365 2010-8-30 发明申请 |
| 2012-3-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜可从目标力降低的影响，其力不同要测量施加在测量。溶液 : 一扫描探针显微镜100包括 : 用于振动激励装置104的悬臂103; 力调制装置107用于调制一个探头10a3a之间的操作力和样品101; 位移检测装置111用于检测所述的悬臂103的位移; 和样品图像生成装置10用于检测所述所述探头10a3a之间的操作力和所述样品101所述的检测结果的基础上的所述位移检测装置111和产生一个样品图像在该样品101的一个测量目标区域。该力调制装置107调制该力使所述探头10a3a之间的操作和所述样品101，在一个给定的角度频率和所述的悬臂103中产生的振动通过参数谐振。版权 : (C)2012，inpit |
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