| 用于使用与传输电子显微镜检测器系统光谱 |
| EP11178559 2011-8-24 发明申请 |
| 2012-2-29 |
| 一个用于一个传输电子显微镜检测器系统包括一个第一探测器，用于记录一图案和一个第二探测器用于记录所述图案的一个特征的一个位置。第二检测器最好是位置敏感检测器，其提供准确，快速位置信息，其可以被用于作为反馈以稳定该图案第一上的所述位置检测器。在一个实施例中，第一检测器检测的电子能量损失电子能谱，和第二检测器，位于后面第一检测器和检测的电子穿过第一检测器，检测该零-损耗峰值的位置和调整所述的电子路径到所述光谱在第一的稳定所述位置检测器。 |
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